<ol id="cefox"><blockquote id="cefox"></blockquote></ol>

    1. <ol id="cefox"><output id="cefox"></output></ol><legend id="cefox"></legend>
      1. 干式真空泵的優化選擇

        干式真空泵的優化選擇

        關鍵字:干式真空泵,干式真空泵優化,干式真空泵選擇

        干式真空泵在半導體工藝中應用的干式真空泵的幾種選擇類型

        過去,人們在各種半導體工藝中廣泛使用油式真空泵,其中又以懸片式真空泵和活塞式真空泵為主要代表。而它們在各種應用中的表現越來越不能使人們感到滿意。因此,干式真空泵應運而生。在過去的十多年里,有好幾種不同類型的干式真空泵被設計和生產出來,它們在機械結構設計上有明顯差異。因為這種差異,我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型:圓裂片式、爪式、組合式(羅茨+爪)、螺桿式。當今,這些干式真空泵類型被不同生產廠家所廣泛應用。其中,干式真空泵圓裂片式、爪式和組合式(羅茨+爪)被稱為多級泵。因為它們的工作方式大致相同,都是利用多級真空腔對氣體進行反復的壓縮來產生真空。在多次反復壓縮的過程當中,氣體的溫度和壓力也產生比較復雜的變化,因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級泵,因為它只靠一個真空腔來產生真空。根據其氣體壓縮方式的不同,又可將其分為內部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。以下就將這些不同類型的泵在物理特性上作一些探討,希望能對大家有所幫助。

        干式真空泵不同類型泵的物理特性

        干式真空泵雙圓裂片式設計和目前最流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

        干式真空泵三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,它只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是象雙圓裂片式設計分為兩份。三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。

        干式真空泵組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通。也路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同有些廠家將其最后一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就象三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。

        在外部壓縮型螺桿式設計中,使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小,同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣,氣體在泵體內停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。干式真空泵在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

         

        旋渦氣泵,干式真空泵,離心氣泵,真空抽濕機,無錫新欣真空設備有限公司

        地  址: 江蘇省無錫市惠山區藕塘鎮

        郵  編: 214153

        銷售熱線: 0510-83291149、83291257、83296336

        傳  真: 0510-83291257

        法人代表: 浦伯良 13801519968

        聯 系 人: 殷小姐 13771157276

        E-mail?。?zksb@xxzksb.com

        網  址: www.iprocoupons.com

        開 戶 行: 錫州農商行藕塘支行

        行  號: 314302086707

        帳  號: 9706478671120100055461

        無錫新欣真空設備有限公司致力于旋渦氣泵,干式真空泵,離心氣泵,真空抽濕機,旋片真空泵除此之外還進行移動式吸塵器等產品的研發、生產和銷售,購買真空泵請認準無錫新欣!

         
        <ol id="cefox"><blockquote id="cefox"></blockquote></ol>

        1. <ol id="cefox"><output id="cefox"></output></ol><legend id="cefox"></legend>
          1. 妺妺坐在我腿上下面好湿漫画_亚洲高清一区二区三区不卡_免费a片大片av观看不卡_国产精品一区二区无线